半导体前道量测检测设备研发商优睿谱完成近亿元A轮融资，基石浦江领投

近日，优睿谱宣布完成近亿元A轮融资，由基石浦江领投，浑璞投资、星河资本、中南创投、泓湖资本、杭州盟合、景宁灵岸等跟投。融资资金将用于新产品的研发及量产。

优睿谱是一家半导体前道量测检测设备研发商，成立于2021年9月，公司位于上海张江高科技园区，致力于打造高品质的半导体前道量测设备，为填补中国半导体前道量测设备空白贡献自己的力量。公司首台半导体专用FTIR(傅立叶变换红外光谱)测量设备Eos200已正式交付客户。

FTIR是一款利用红外光谱经傅里叶变换进而分析各种外延层厚度以及元素浓度的测量设备，可用于测量一代半导体（硅外延片）、二代半导体（砷化镓、磷化铟衬底外延）、三代半导体（碳化硅、氮化镓外延片）、分子束外延（MBE）等的外延层厚度、光刻胶厚度及CMP 抛光后的厚度，以及测定半导体制程各种元素浓度。长期以来，半导体FTIR市场被Nanometrics（现Onto innovation）、赛默飞等国际设备厂商所垄断。

跟国外竞品相比，Eos200是一款全自动测量设备，采用模块化设计理念，在整机、核心部件、软件等多个方面均进行了大幅创新设计，使得整机测量性能在达到国外竞品同等水平的情况下，还大幅降低了客户的使用及维护成本。尤其是，得益于卓越的供应链资源，优睿谱可大幅缩短设备交付周期。

优睿谱由长期从事半导体行业的海归博士、国内优秀的半导体前道量测检测设备技术团队共同发起成立。团队核心成员均长期深耕半导体前道量测检测设备行业，在国内有深厚的产业背景、产业资源以及设备制造的产业链资源。

浑璞投资合伙人姜寅明表示：半导体量检测设备被看作是半导体制程之眼，在芯片制造的良率管理中扮演着非常重要的角色。当前，半导体量检测设备面临着迫切的国产替代需求，优睿谱在较短时间内完成了多款量检测产品的开发、推广和验证，充分反映出团队的深厚技术积淀、广阔人脉资源和强大市场能力。

中南创投合伙人王建晖表示：在半导体制造发展和制程工艺提升过程中，先进的量测设备必不可少，优睿谱正是顺势而生的一家优秀的半导体前道量测设备公司。凭借团队深厚的研发能力、上下游供应链的资源整合能力、敏锐的市场洞察力以及客户开拓和服务能力，优睿谱成立仅一年半，就推出多款填补国内空白的前道量测设备，并获得多家知名客户的订单和认可。